Construction à haute rigidité avec mouvement de moteur linéaire et caméras haute résolution. Combine la pression de placement optimale, la haute précision et la haute qualité grâce à une technologie de contrôle avancée.
En supposant que cette machine va être utilisée dans les salles blanches, le robot XY est capable de salle blanche.
En réglant un filtre HEPA, vous pouvez obtenir un environnement encore meilleur pour les semi-conducteurs.
Équipé d’un grand écran tactile de 15 pouces et d’une interface graphique. L’interface unifiée contrôle à la fois le fonctionnement de la machine et du MWU12i.
Couvre à la fois la gestion des données de carte de wafer et la conversion de format.
※Les formats utilisateur individuels peuvent être pris en charge séparément.
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